氣體塵埃粒子計數(shù)器的校正方法
本文介紹的是氣體塵埃粒子計數(shù)器的校正所需設(shè)備、基本原理已經(jīng)基本步驟。
一、校正所需設(shè)備
1、100級潔凈房或潔凈臺
2、一臺用于作對比,尚在校正期內(nèi)的塵埃粒子計數(shù)器
3、各粒徑的標準粒子
4、可產(chǎn)生脫離水(DI水)的純水系統(tǒng)或類似裝置
5、標準粒子氣體產(chǎn)生器
6、其它普通電器
二、校正的基本原理
標準粒子通過255粒子產(chǎn)生器由液狀霧化成氣體,并由其內(nèi)置泵通過0.2um的過濾器后的干燥氣體進入取樣管路,這時,將兩臺相同塵埃粒子計數(shù)器同時或先后對取樣管進行抽樣測試,并比校0.3um粒徑的測試值。如果其平均值在20%以內(nèi),認為合格。如果不同型號的粒子計數(shù)器,一定要弄清楚其流速,取樣時間,取樣次數(shù)等參數(shù),并且,還要明白怎樣理解其測試結(jié)果。
三.、校正的基本步驟:
現(xiàn)假設(shè)對一臺常見的Royco HH200作校正
1、首先,要清楚Royco 323和HH200A有何差別,其測試原理一樣,但Royco 323流速為1CFM(立方英尺/分鐘),而Royco HH200則為0.1CFM。
2、將潔凈臺開機,工作半小時,其間內(nèi)也打開Royco 323和Royco HH200,讓其預(yù)熱半小時。
3、準備好255的取樣器管,并搭接好其所有氣體管路。
4、將配好的標準液(如0.301um)放入脫原子瓶中,注意勿讓液體超過噴嘴。
5、設(shè)置Royco323和Royco HH200的基本參數(shù)
(1)取樣時間都設(shè)置為00:01:00
(2)取樣次數(shù)都設(shè)置03
(3)取樣模式都設(shè)置為Auto
(4)間隔時間都設(shè)置為00:00:05
(5)讀數(shù)模式都設(shè)置為Cumulative
注:以上設(shè)置相同,因其流速有10倍差,故Royco323測試結(jié)果會是Royco HH200的10倍。
6、打開255電源,調(diào)節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥,在調(diào)至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn),干燥氣體流速計約60SCFH時后,保持其工作狀態(tài)。
7、讓Royco 323和Royco HH200同時工作,看其三次的平均結(jié)果,若在20%以內(nèi),視為合格。
8、拆下脫原子瓶,重新滴入其它標準粒子,重復(fù)該測試。
9、以上校正只是對比校正,尚可用萬用表對其基本參數(shù)測量,用示波器對其信號捕捉等來輔助調(diào)校。
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