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簡(jiǎn)要描述：晶圓表面用二氧化硅：MSP Corporation 的 NanoSilica™Size Standards 是 SiO2顆粒的濃縮水懸浮液，具有高度均勻的尺寸分布。這些粒徑標(biāo)準(zhǔn)目前提供的標(biāo)稱尺寸范圍為 15 至 200 nm，非常適合為下一代晶圓和光掩模檢測(cè)系統(tǒng)生產(chǎn)高質(zhì)量校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)。
產(chǎn)品型號(hào)： 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2022-08-08訪 問 量：1482產(chǎn)品分類
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晶圓表面用二氧化硅
晶圓表面用二氧化硅
納米二氧化硅™尺寸標(biāo)準(zhǔn)
MSP Corporation 的 NanoSilica™Size Standards 是 SiO2顆粒的濃縮水懸浮液，具有高度均勻的尺寸分布。
這些粒徑標(biāo)準(zhǔn)目前提供的標(biāo)稱尺寸范圍為 15 至 200 nm，非常適合為下一代晶圓和光掩模檢測(cè)系統(tǒng)生產(chǎn)高質(zhì)量校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)。
雖然 MSP 23000NPT 系列和 2300G3 系列粒子沉積系統(tǒng)為表面缺陷校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)提供了最佳結(jié)果，但較舊的 MSP 系統(tǒng)和其他制造商的系統(tǒng)也適用于納米二氧化硅尺寸標(biāo)準(zhǔn)。
特征
+ 極其均勻的尺寸分布
我們的納米二氧化硅尺寸標(biāo)準(zhǔn)采用獲得**的 SiO2合成工藝開發(fā)，其尺寸分布比市售的 PSL 球更窄。
+ 使用 SI 可追溯性測(cè)量的峰直徑
允許產(chǎn)量提高和計(jì)量小組根據(jù) ISO 9000 標(biāo)準(zhǔn)和 SEMI 指南建立其檢查和缺陷審查方法的可追溯性。
+ 受到強(qiáng)烈 DUV 輻射時(shí)穩(wěn)定
MSP 的 SiO2顆粒在暴露于 DUV 輻射時(shí)不會(huì)降解，這與 PSL 球體不同，PSL 球體的尺寸會(huì)減小。
+ 易于使用
NanoSilica 顆粒懸浮液在滴管瓶中提供，以便在您的應(yīng)用中混合具有適當(dāng)數(shù)量濃度的懸浮液時(shí)使用方便。
+ 高粒子濃度
一些應(yīng)用需要高濃度。 MSP 的顆粒濃度是業(yè)內(nèi)最高的之一。
+ 輕松辨別模態(tài)（峰值）直徑
+ 避免由于平均和峰值直徑值之間的差異而導(dǎo)致的差異
+ 制備適用于效率相對(duì)較高或較低的氣溶膠產(chǎn)生裝置的稀釋懸浮液
+ 為***的檢測(cè)工具創(chuàng)建持久的校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)
+ 消耗更少的材料；存錢
+ 隨附校準(zhǔn)和可追溯性證書以及帶有處理和處置說明的安全數(shù)據(jù)表 (SDS)
型號(hào) |
目錄編號(hào) | 標(biāo)稱粒徑 [nm] | 認(rèn)證1峰值直徑 [nm] | 大約 Size Dist. Width, RFWHM2
|
1044 | NS-0015A | 15 | 14-16 | 13% |
1046 | NS-0018A | 18 | 17-19 | 12% |
1047 | NS-0020A | 20 | 19-21 | 11% |
1048 | NS-0024A | 24 | 23-25 | 10% |
1075 | NS-0027A | 27 | 26-28 | 9% |
1049 | NS-0030A | 30 | 29-31 | 8% |
1079 | NS-0032A | 32 | 31-33 | 7% |
1062 | NS-0035A | 35 | 34-36 | 7% |
1076 | NS-0037A | 37 | 36-38 | 6% |
1051 | NS-0040A | 40 | 39-41 | 6% |
1063 | NS-0045A | 45 | 44-46 | 5% |
1052 | NS-0050A | 50 | 49-51 | 5% |
1077 | NS-0055A | 55 | 53-57 | 5% |
1053 | NS-0060A | 60 | 58-62 | 4% |
1067 | NS-0064A | 64 | 62-66 | 4% |
1054 | NS-0070A | 70 | 68-72 | 4% |
1068 | NS-0074A | 74 | 72-76 | 4% |
1055 | NS-0080A | 80 | 78-82 | 4% |
1069 | NS-0084A | 84 | 82-86 | 4% |
1057 | NS-0090A | 90 | 88-92 | 4% |
1070 | NS-0094A | 94 | 92-96 | 4% |
1058 | NS-0100A | 100 | 98-102 | 4% |
1071 | NS-0104A | 104 | 102-106 | 4% |
1059 | NS-0125A | 125 | 120-130 | 4% |
1060 | NS-0150A | 150 | 145-155 | 4% |
1061 | NS-0200A | 200 | 190-210 | 4% |
1給定目錄號(hào)的認(rèn)證直徑將在規(guī)定范圍內(nèi)提供。
2相對(duì)半高寬（半高全寬）； FWHM 除以模態(tài)直徑。
粒子組成 | 無定形SiO2 |
粒子密度 | 1.9 克/厘米3 |
折射率 | 633納米時(shí)為1.41英寸 |
體積 | 5 毫升 |
專注 | 每毫升 1013至 1015顆粒 |
截止日期 | ≥ 24 個(gè)月 |
添加劑 | 乙醇（按質(zhì)量計(jì) 5-20%） 有機(jī)穩(wěn)定劑（<0.1% 質(zhì)量） |
儲(chǔ)存和處理 | 在室溫下儲(chǔ)存（參見校準(zhǔn)和可追溯性證書 更多詳情。 |
NanoSilica™ 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液是由MSP Corporation制作的高度均勻尺寸SiO2微粒子濃縮水溶液，微粒子尺寸從18nm到200nm都可選擇，是市面上***、高質(zhì)量的校正標(biāo)準(zhǔn)，適用于最新一代的晶圓表面污染/缺陷檢查系統(tǒng)及光罩檢查系統(tǒng)。
***的半導(dǎo)體檢查技術(shù)已經(jīng)發(fā)展到小于30nm，以往使用Polystyrene latex (PSL)球形化粒子即可做晶圓表面污染/缺陷檢查系統(tǒng)及光罩檢查系統(tǒng)的校正，但新一代的檢查系統(tǒng)使用到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能檢查小于20nm的污染或缺陷，當(dāng)UV光重復(fù)打在PSL球形化粒子上，將影響到PSL球形化粒子的質(zhì)量; 由于SiO2微粒子在DUV及EUV的照射下?lián)碛蟹€(wěn)定的質(zhì)量，因此SiO2微粒子是最佳的替代產(chǎn)品。
NanoSilica™ 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液是使用有**的SiO2合成技術(shù)，可以做到如PSL球形化粒子一樣的尺寸分布，從目前最小的微粒子尺寸來看，NanoSilica™ 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液是尺寸最均勻，適合做尺寸大小峰值的量測(cè)的工具。
NIST-traceable NanoSilica™ 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液是MSP Corporation透過National Institute of Standards and Technology (NIST)追溯到標(biāo)準(zhǔn)單位的產(chǎn)品，加上ISO 9000與SEMI的認(rèn)證，讓良率提升及表面檢查和缺陷評(píng)估有所依據(jù)。
NanoSilica™ 微粒子標(biāo)準(zhǔn)溶液使用15-mL滴定，讓使用者操作更方便。每一瓶溶液的卷標(biāo)皆標(biāo)示產(chǎn)品編號(hào)、生產(chǎn)編號(hào)、微粒子尺寸峰值、尺寸分布半高寬及有效期限，而且提供NIST-traceable證明書與Material Safety Data Sheet (MSDS)說明書。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
•尺寸大小分布均勻
•NIST traceability 的尺寸大小
•DUV及EUV的照射下?lián)碛蟹€(wěn)定的質(zhì)量
•高濃縮度微粒子懸浮溶液
產(chǎn)品效益
•易于微粒子撒粒系統(tǒng)、晶圓表面污染/缺陷檢查系統(tǒng)或各類分析儀器偵測(cè)與量測(cè)尺寸峰值
•可避免平均尺寸與尺寸峰值的差異性
•適合氣膠產(chǎn)生設(shè)備使用
•提供耐久校正標(biāo)準(zhǔn)給*進(jìn)的檢測(cè)設(shè)備使用
•省錢而且耗用量少
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